【上海水处理设备网www.szxqhb.com】近年来，随着科学技术的不断进步和人民需求的不断增加，我国半导体消费行业发展迅速，然而也有少量半导体废水排放。那么下面就来说说半导体研磨废水的处理方法。 在集成电路封装的制造过程中，会对晶圆进行切割和研磨，并用超纯水清洗，因此会产生少量的切割和研磨废水。目前国内很多厂家采用混凝沉淀和滤袋过滤的方法，嘉兴GMP纯水设备出水达到污水综合处理排放标准。 一种半导体研磨废水的处理方法及纯水设备，其特征在于，包括以下步骤: (1)通过废水收集箱收集硅片研磨产生的废水； (2)用水泵将废水泵入多介质过滤器进行初步过滤； (3)将一次过滤后的水送入保安过滤器进行二次过滤，保安过滤器用于屏蔽超滤膜； (4)将第二次过滤后的水送入超滤膜过滤装置进行第三次过滤； (SDI计或浊度计用于测量和确定第三次过滤的水是否能满足第一次设定的规格要求，如果满足规格要求，则送至生产水箱；

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